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莱宝真空泵|Leybold
莱宝离子泵-small/Low Profile/Tall Profile系列
优势速览:
莱宝离子泵
离子泵工作原理(lǐ)
创造强础场區(qū)域
永磁铁置于泵體(tǐ)真空腔之外,产生强磁场,用(yòng)来控制和引导電(diàn)子在阳极筒内环形运动
第二步
产生電(diàn)子云
泵體(tǐ)真空预抽后,施加高電(diàn)压,電(diàn)子在阳极简产生旋转電(diàn)子云,并被强磁场所约束
第三步
当气體(tǐ)分(fēn)子进入阳极筒单元,被電(diàn)子轰击,离化為(wèi)正离子,正离子经高压電(diàn)场加速后高速飞出阳极筒飞向阴极板
第四步
气體(tǐ)离子吸附抽除
当气體(tǐ)阳离子达到阴极板,高速动能(néng)产生的溅射作用(yòng),阴极材料被轰击出飞向阳极筒,同时气體(tǐ)离子通过下述两种吸附作用(yòng)之一被抽除:物(wù)理(lǐ)吸附、化學(xué)吸附
技术参数:
TiTan"
莱宝离子泵优势
長(cháng)使用(yòng)寿命
设计使用(yòng)寿命均可(kě)达45,000-50,000小(xiǎo)时。随着工作压强的降低,使用(yòng)寿命将会線(xiàn)性增加举例而言,若始终工IE-9mabr的UHV环境下,离子泵可(kě)以连续运行数十年。
高真空
所有(yǒu)离子泵在出厂时内部真空度低于1E-10bar,检漏数据和RGA扫描分(fēn)析报告等生产和质量数据可(kě)追溯。
線(xiàn)缆
SAFECONN系列電(diàn)缆具有(yǒu)高压安全锁功能(néng),规避触電(diàn)等安全风险,耐高温耐辐射、易弯折方便安装
高压端子
10kvsHv( SAFECONN)高压端子是莱宝离子泵标准配置,具有(yǒu)安全、易于连接等特点。
所有(yǒu)离子泵均可(kě)选配集成110V或220V加热器,配铁磁體(tǐ)的小(xiǎo)型离子泵也可(kě)以安装加热器。带磁铁可(kě)以进行250°C烘烤,不带超铁可(kě)以进行450°C烘烤。
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